МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЯЛАРИНИ ИШЛАБ ЧИҚАРИШДА КРЕМНИЙНИ ТЕРМИК ОКСИДЛАНИШИ ҲАҚИДА. Conferencea , [S. l.], p. 380–385, 2022. Disponível em: https://conferencea.org/index.php/conferences/article/view/948. Acesso em: 25 sep. 2025.