МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЯЛАРИНИ ИШЛАБ ЧИҚАРИШДА КРЕМНИЙНИ ТЕРМИК ОКСИДЛАНИШИ ҲАҚИДА

Authors

  • Нурқулов Жалолиддин Алишер ўғли Гулиcтон давлат универcитети, Ахборот технологиялари факультети, Амалий математика ва информатика йўналиши, 3-босқич талабаси

Keywords:

микроэлектроника, диэлектрик, компьютер

Abstract

Келтирилган ушбу мақолада микроэлектроника технологияларини ишлаб чиқаришда кремнийни термик оксидланиши ҳақида тушунча ва тавсиялар берилган.Диэлектрик ҳоссалари туфайли кремний оксиди кўп қатламли изоляция системаларида електр изоляциясини таъминлайди, алоҳида асбоб ускуналарни бир-биридан диелектрик изоляция қилишга ҳизмат қилади. Интеграл микросхемаларни ишлаб чиқариш технологиясида кремнийни локал оксидланиши усули кэнг қўлланилади. Олинган натижалар асосида соддалаштирилган Деал-Грове модели билан солиштирилди. Юқори босимли технологик жараёнларга чизиқли-пароболик моделни қўллашдаги янги тақрибий ечим тавсия этилди.

Downloads

Published

2022-06-30

Issue

2022: 3rd ICARHSE-Germany june

Section

Articles

License

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

How to Cite

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЯЛАРИНИ ИШЛАБ ЧИҚАРИШДА КРЕМНИЙНИ ТЕРМИК ОКСИДЛАНИШИ ҲАҚИДА. (2022). Conferencea , 380-385. https://conferencea.org/index.php/conferences/article/view/948