“МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЯЛАРИНИ ИШЛАБ ЧИҚАРИШДА КРЕМНИЙНИ ТЕРМИК ОКСИДЛАНИШИ ҲАҚИДА”, conf, pp. 380–385, Jun. 2022, Accessed: Apr. 21, 2026. [Online]. Available: https://conferencea.org/index.php/conferences/article/view/948