“МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЯЛАРИНИ ИШЛАБ ЧИҚАРИШДА КРЕМНИЙНИ ТЕРМИК ОКСИДЛАНИШИ ҲАҚИДА”. Conferencea (June 30, 2022): 380–385. Accessed September 25, 2025. https://conferencea.org/index.php/conferences/article/view/948.