МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЯЛАРИНИ ИШЛАБ ЧИҚАРИШДА КРЕМНИЙНИ ТЕРМИК ОКСИДЛАНИШИ ҲАҚИДА. conf [Internet]. 2022 Jun. 30 [cited 2026 Apr. 21];:380-5. Available from: https://conferencea.org/index.php/conferences/article/view/948